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等离子体技术及装备(电子信息领域)

拟转让方式:完全转让;技术许可;技术入股;其他 转让底价:面议 转让方:天津中科先进技术产业有限公司
成果名称 等离子体技术及装备(电子信息领域)
行业类别 科学研究和技术服务业-研究和试验发展-工程和技术研究和试验发展 应用领域 电子信息
获奖情况 所处阶段 通过小试
专利技术
序号 专利名称 专利所属地 专利类型 专利号 专利授权日期 专利到期时间
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技术简介

1)表面清洗活化 PT 系列产品 对材料表面进行清洗、活化等,实现大批量和高均匀度的快速高效处理, 适用于半导体、LED、MEMS 等领域的光刻胶去除,焊锡球黏合前的先进芯片封装 和倒装芯片的清洗,塑料与金属的界面强力提高等。 等离子体清洗效果图 

2)纳米改性 CPT 系列产品 对材料表面进行刻蚀、沉积等,实现大批量和高均匀度的快速高效处理, 适用于半导体、OLED、MEMS、毫米波芯片等领域的封装处理,以及特种塑料与金 属的界面强力提高等。

商业前景

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