友情链接 :
成果名称 | 等离子体技术及装备(电子信息领域) | |||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
行业类别 | 科学研究和技术服务业-研究和试验发展-工程和技术研究和试验发展 | 应用领域 | 电子信息 | |||||||
获奖情况 | 所处阶段 | 通过小试 | ||||||||
专利技术 |
更多 >
|
|||||||||
技术简介 |
(1)表面清洗活化 PT 系列产品 对材料表面进行清洗、活化等,实现大批量和高均匀度的快速高效处理, 适用于半导体、LED、MEMS 等领域的光刻胶去除,焊锡球黏合前的先进芯片封装 和倒装芯片的清洗,塑料与金属的界面强力提高等。 等离子体清洗效果图 (2)纳米改性 CPT 系列产品 对材料表面进行刻蚀、沉积等,实现大批量和高均匀度的快速高效处理, 适用于半导体、OLED、MEMS、毫米波芯片等领域的封装处理,以及特种塑料与金 属的界面强力提高等。 |
|||||||||
商业前景 |